執筆者：ゆめソーラーマガジン編集部
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MEMS （メムス）とは
MEMS（メムス）とは、Micro Electro Mechanical Systems（マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムズ）の略称です。
微小なチップ内部に、機械的な構造と電子回路を組み込んだデバイスを指します。
半導体の製造技術を応用し、シリコンなどの基板上に、小さな機械部品や電子回路を形成して製造されます。
MEMSと一般的な半導体デバイスでは、おもな役割に次のような違いがあります。
- MEMS：微細な機械構造を持ち、動きや圧力、音などを検出・制御するデバイス
- 半導体：主に電気信号を処理・制御するデバイス
MEMSは小型化しやすく、加速度センサーやMEMSマイクなどの部品として、スマートフォンや自動車をはじめ、幅広い分野で利用されています。
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